設備名稱(chēng) 手動(dòng)勻膠機  品牌型號 WS400BZ

設備用途
通過(guò)高速旋轉的電機帶動(dòng)晶圓轉動(dòng)，結合手動(dòng)滴膠，將光刻膠均勻的涂覆到晶圓上。

主要技術(shù)指標：
可用晶圓尺寸：2inch 3inch 4inch圓和≥1cm2碎片
最大轉速：8000rpm

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