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設備名稱(chēng) 自動(dòng)顯影機 品牌型號 MAX100SVS
設備用途
通過(guò)高速旋轉的電機帶動(dòng)晶圓轉動(dòng)，結合自動(dòng)噴涂顯影液和背洗，從而實(shí)現晶圓的顯影工藝。帶有自動(dòng)熱板和冷板。
主要技術(shù)指標：
可用晶圓尺寸：2inch 3inch
最大轉速：4500rpm
轉速偏差：±5RPM
熱板溫度范圍： 室溫-160℃
冷板溫度范圍：室溫-25℃
顯影均勻性：5%
