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設備名稱(chēng)：自動(dòng)紫外光刻機 品牌型號 SUSS MA6
設備用途
光刻機發(fā)出的紫外光通過(guò)具有特定圖形結構的掩膜版對樣片曝光，然后通過(guò)顯影將掩膜版上的圖形結構轉移到樣片表面的光刻膠上。
主要技術(shù)指標：
可選波長(cháng)：365nm 405nm 436nm
可加工尺寸：2inch 3inch 4inch晶圓和≥1cm2碎片
極限分辨率：0.8um
正面套刻精度：≤0.25um
曝光穩定性：±1%
曝光模式：真空接觸、硬接觸、軟接觸和泛曝光
